北京，2022年4月6日-Atonarp，半導(dǎo)體工藝控制原位實(shí)時(shí)高靈敏度計(jì)量領(lǐng)域的領(lǐng)頭企業(yè)，在全球范圍內(nèi)正式發(fā)布并銷售其Aston平臺(tái)。這是Atonarp公司全球發(fā)展進(jìn)程中的一座重要里程碑。
Aston是一款緊湊型質(zhì)譜儀，可提供準(zhǔn)確、實(shí)時(shí)的工藝化學(xué)數(shù)據(jù)，其分子濃度測(cè)量靈敏度可達(dá)十億分之一。這些數(shù)據(jù)能讓半導(dǎo)體制造FAB實(shí)現(xiàn)高效運(yùn)行，從而提高產(chǎn)量和吞吐量，為FAB運(yùn)營(yíng)商帶來(lái)巨大的經(jīng)濟(jì)利益。
隨著這一消息的宣布，Atonarp正向韓國(guó)和美國(guó)的領(lǐng)先半導(dǎo)體FAB和設(shè)備制造商交付了Aston Impact。此外，Atonarp還向客戶交付數(shù)十臺(tái)Aston，供客戶在其先進(jìn)工藝中進(jìn)行評(píng)估，以優(yōu)化其工藝和制造效率。
Atonarp公司產(chǎn)品營(yíng)銷副總裁Martin Mason說(shuō)：“在分子水平上快速檢測(cè)、量化并提供可操作的工藝控制數(shù)據(jù)的能力，對(duì)于先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝來(lái)說(shuō)意義重大。對(duì)于一個(gè)典型的FAB來(lái)說(shuō)，即使吞吐量只增加百分之一，每年也能增加數(shù)千萬(wàn)美元的產(chǎn)量。Aston十分清楚其潛力，在這其中，速度和靈敏度對(duì)分子水平的工藝控制效率來(lái)說(shuō)十分重要。”
計(jì)量是半導(dǎo)體制造的一個(gè)重要部分，在生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)測(cè)量多種氣體的濃度，可以確保滿足工藝余量，同時(shí)盡量減少浪費(fèi)。以前的解決方案依賴于光發(fā)射光譜測(cè)量和殘余氣體分析儀，但這些傳統(tǒng)方法已不能滿足當(dāng)今先進(jìn)存儲(chǔ)器和邏輯工藝所需的速度和靈敏度。相反，Aston使用創(chuàng)新質(zhì)譜技術(shù)，采用同類最佳傳感器，可提供快速的結(jié)果和出色的靈敏度，以及抵抗腐蝕性氣體和冷凝物所需的堅(jiān)固性。
Aston為先進(jìn)半導(dǎo)體應(yīng)用提供可操作數(shù)據(jù)，如原子水平沉積(ALD)和sub-fab操作等。Aston靈敏度低于十億分之平方根赫茲(9ppb√Hz)，比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的解決方案高十倍，且不影響收集數(shù)據(jù)的速度。
Atonarp正積極開(kāi)展合作，為半導(dǎo)體領(lǐng)域的新應(yīng)用以及需要實(shí)時(shí)、敏感氣體分析的應(yīng)用（如石油和天然氣以及凍干法工藝控制）開(kāi)發(fā)Aston平臺(tái)。
Aston已取得多項(xiàng)認(rèn)證和資格，包括EN55032（歐盟）、EN55035（歐盟）、FCC part 15（美國(guó)）、ICES-003（加拿大）、VCCI CISPR-32（日本）、BSMI（中國(guó)臺(tái)灣）、KC EMC（韓國(guó)）的EMI/EMC標(biāo)準(zhǔn)。憑借這些認(rèn)證，Aston現(xiàn)已面向全球客戶批量發(fā)貨。
Atonarp與韓國(guó)ATI公司合作，為該地區(qū)客戶提供蝕刻、CVD、空間ALD和Sub-fab應(yīng)用的綜合解決方案。