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微光機(jī)械系統(tǒng)助您突破數(shù)字光處理器功率瓶頸

　　美國(guó)特拉華大學(xué)的工程師近日宣布，他們解決了妨礙數(shù)字光處理器(DLP)在功率敏感的領(lǐng)域獲得普及應(yīng)用的功率問(wèn)題。

　　DLP通常采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)來(lái)控制微透鏡陣列的角度。然而，對(duì)于像空間探測(cè)這樣的功率敏感應(yīng)用，即使調(diào)整微透鏡傾斜度的微放大器，其功耗都大到讓DPL無(wú)法使用。

　　今年美國(guó)國(guó)家科學(xué)基金會(huì)CAREER獎(jiǎng)金得主、特拉華大學(xué)工程系教授Balaji Panchapakesan宣布，利用微光機(jī)械系統(tǒng)(MOMS)解決了這個(gè)問(wèn)題。MOMS利用激光來(lái)激勵(lì)傾斜的、微小的反射鏡懸臂，取代了用電流為氣體、壓電或靜電執(zhí)行機(jī)構(gòu)供電的傳統(tǒng)方法。

　　一種活性光納米管薄膜使得MOMS能夠通過(guò)超低激光來(lái)激勵(lì)，從而不必采用消耗功率的電流激勵(lì)方法。研究人員表示，對(duì)于空間探測(cè)和場(chǎng)致顯示及生物醫(yī)學(xué)掃描儀這樣的新應(yīng)用，其功耗足夠低了。

　　該技術(shù)利用標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝步驟形成了一層碳納米管薄膜圖案，由它制成了300×30×7um的光激勵(lì)懸臂陣列。當(dāng)其基座由808nm波長(zhǎng)、170mW半導(dǎo)體激光照射的時(shí)候，這些懸臂會(huì)偏離23um。

　　Panchapakesan表示，他們已經(jīng)積累了直接在納米管上形成薄膜的經(jīng)驗(yàn)。特拉華大學(xué)已經(jīng)獲得了該技術(shù)的臨時(shí)專(zhuān)利權(quán)。

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